[发明专利]改善产品合格率的方法、程序及其系统有效
| 申请号： | 200710128761.5 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101387870A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张永政;傅学士;王英郎;王锦焜 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;G05B19/418 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示了改善产品合格率的方法、程序及其系统，以达到较佳的缺陷密度及提高产品合格率的目的。为求增强的绝佳工具选择及发送，本发明提供一种绝佳工具选择及发送系统，用以整合不同部件。该绝佳工具选择系统是依据制造工具的一集合效能来选择绝佳工具的一集合，并且提供一全自动化操作环境，以使用该绝佳工具的集合生产一产品。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 产品 合格率 方法 程序 及其 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种改善产品合格率的方法，其特征是，该方法的步骤包括：根据制造工具的集合效能，从制造工具的一集合中，选择绝佳工具的一集合；以及提供一全自动化操作环境，以使用该绝佳工具的集合生产一产品。
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