[发明专利]丝网印刷装置及图像识别对位方法

摘要

本发明提供一种丝网印刷装置，当将基板在掩模上进行对位时，根据基板种类不具有专用的对位标记，将基板图案代用作对位标记的方法由于类似形状的图案、成为误识别的对位不良的原因。该丝网印刷装置构成包括：第1单元，其分别检测丝网掩模和基板表面的任意图案的一部分或者全部所形成的图案；第2单元，其分别检测最终对位目标的图案各自的重心；计算单元，其通过图像测量计算上述第1和第2单元检测的图案的窗口中心和上述第2单元检测的图案各自的重心的偏差；以及补正单元，其根据上述计算单元的计算的数值计算补正系数并进行登录。

主权项

1.一种丝网印刷装置，将形成于丝网掩模上的2个部位以上的任意图案开口部分作为对位目标，使用基板表面的2个部位以上的任意图案，基于图像处理把上述基板对位在丝网掩模上，并经由丝网掩模向基板表面上涂敷糊剂，其特征在于包括：第1单元，其分别检测由形成于丝网掩模上的上述图案开口部分的一部分或者全部构成的第3图案、以及由基板表面的任意图案的一部分或者全部构成的第1图案；第2单元，其分别检测作为与上述第1或第3图案分别相对的最终对位目标的第2以及第4图案各个的重心；计算单元，其通过图像测量而计算由上述第1和第2单元检测的第1和第3图案各个的窗口中心与由上述第2单元检测的第2以及第4图案各个的重心的偏差；以及补正单元，其基于上述计算单元的计算结果而计算相对XYθ台各轴的补正系数并进行登录；该丝网印刷装置还具有对位单元，该对位单元在生产运行中当由第1和第2单元检测出第1～第4图案的中心之后，在进行XYθ台对位量计算时，加上上述补正单元登录的补正值，算出XYθ台各轴的控制量并进行对位。