[发明专利]可变形镜的制造方法无效
| 申请号： | 200710141393.8 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101122681A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 前田重雄;田中克彦;石井明;杉山进 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G11B7/135;H01L41/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种适合于大批量生产的可变形镜的制造方法，该方法包括如下步骤：在该支撑基板(2)上叠置具有类似梳齿状的凸条部分(41b，42b)的一对夹具(41，42)，使得所述凸条部分彼此正交；并且将所述支撑柱(5)和压电元件(4)插入至由所述凸条部分(43)之间的间隙所形成的通孔部分；以及将所述镜基板(3)放置在所述支撑柱和所述压电元件上；分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合；在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具；以及在反射镜基板的外表面上形成反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可变形镜的制造方法，每个可变形镜包括：支撑基板；镜基板，其与该支撑基板相对，并且由支撑柱支撑以及在该镜基板的表面上具有反射膜，以及压电元件，其夹在该支撑基板和该镜基板之间，并且当施加电场时该压电元件能够膨胀或收缩，以使该镜基板和反射膜变形；以及该制造方法包括如下步骤：组装步骤，在该支撑基板上叠置具有类似梳齿状的凸条部分的一对夹具，使得所述凸条部分彼此正交；将所述支撑柱和所述压电元件插入至由所述凸条部分之间的间隙所形成的通孔部分；以及将所述镜基板放置在所述支撑柱和所述压电元件上；接合步骤，至少分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合；夹具抽出步骤，在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具；以及反射膜形成步骤，在所述镜基板的外表面上形成所述反射膜。
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