[发明专利]气浮式机台接触警报装置无效
| 申请号： | 200710141652.7 | 申请日： | 2007-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101105591A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 林驰程;詹围森 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H01L21/67;B25H1/00;G08B21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器；测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压至显示控制器；参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器；显示控制器比较测量电压与参考电压，以实时监控气浮平台与底座之间的间隙，并通过显示器输出。通过本发明，可以实时输出检测结果，即便是在机台运转时，仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙，使得气浮式机台的操作更为安全，进而提升气浮式机台的使用寿命，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮式 机台 接触 警报 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气浮式机台接触警报装置，至少包含：一测量电路，以测量一气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压；一参考电压电路，用于输出一参考电压；一显示控制器，连接该测量电路及该参考电压电路；以及一显示器，连接该显示控制器；其中，该显示控制器比较该测量电压与该参考电压，以检测该气浮平台与该底座之间的一间隙。
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