[发明专利]用于缺陷检测的方法及系统无效
| 申请号： | 200710142877.4 | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101236164A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·本－伊谢;奥赫·格弗泰泽 | 申请（专利权）人： | 以色列商·应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于缺陷检测的系统、方法和计算机程序产品，该方法包括：(i)检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；(ii)搜索第二图像的第三像素，从而使得第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；(iii)检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及(iv)将测试像素与第四像素进行比较。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种用于缺陷检测的方法，该方法包括：检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；搜索第二图像的第三像素，从而第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及将测试像素与第四像素进行比较。
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