[发明专利]影像显示系统的制造方法

摘要

本发明提供一种影像显示系统的制造方法，该影像显示系统包含电激发光装置，包括以下步骤。提供具有有源区及衬垫区的基板。分别形成薄膜晶体管和衬垫电极于有源区上和衬垫区内。形成保护层于有源区及衬垫区上。形成彩色滤光片层于保护层上并位于有源区内，贯穿彩色滤光片层的第一接触窗形成于薄膜晶体管的漏极的正上方以露出保护层。形成平坦层于基板的有源区及衬垫区上。分别形成第二和第三接触窗贯穿位于有源区和衬垫区的平坦层，以分别露出位于漏极和衬垫电极正上方的保护层的上表面。分别形成漏极和衬垫接触窗贯穿位于有源区和衬垫区的保护层以分别露出漏极和衬垫电极，形成漏极和衬垫接触窗的步骤在完成彩色滤光片层及平坦层后。

主权项

1.一种影像显示系统的制造方法，其中该影像显示系统包含一电激发光装置，包括以下的步骤：提供一具有有源区及衬垫区的基板；形成一薄膜晶体管于该基板的有源区上，及形成一衬垫电极于该基板的该衬垫区内，其中该薄膜晶体管包含一源极、一栅极、一漏极及一栅极绝缘层；形成一保护层于该有源区及衬垫区之上；形成一彩色滤光片层于该保护层之上并位于有源区之内，其中一第一接触窗形成于该漏极的正上方，并贯穿该彩色滤光片层，露出该保护层；形成一平坦层于该基板的有源区及衬垫区之上；形成一第二接触窗贯穿该位于有源区的平坦层，以露出该位于漏极正上方的保护层的上表面；形成一第三接触窗贯穿该位于衬垫区的平坦层，以露出该位于衬垫电极正上方的保护层的上表面；形成一漏极接触窗贯穿位于有源区的该保护层以露出该漏极，其中在完成该彩色滤光片层及平坦层之后形成该漏极接触窗；以及形成一衬垫接触窗贯穿该保护层以露出该衬垫电极，其中在完成该平坦层之后形成该衬垫接触窗。