[发明专利]半导体测试装置的测试程序生成方法无效
申请号: | 200710143845.6 | 申请日: | 2007-08-03 |
公开(公告)号: | CN101122629A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 菅原洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高科技工程服务 |
主分类号: | G01R31/3183 | 分类号: | G01R31/3183;G01R31/26 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本神奈川县足*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是关于一种半导体测试装置的测试程序生成方法,通过本发明,即使是缺乏半导体测试装置知识的用户,也可以容易地生成测试程序,且可以容易地进行测试程序的更改、校正。本发明中,利用通常习惯使用的应用软件之一的表格计算软件的微程序,创建测试程序,由此,即使是缺乏半导体测试装置知识的用户,也可以易于生成测试程序。而且,当进行测试程序的更改、校正时,仅对各表格的设定条件进行更改、校正即可,因此,可以容易地进行测试程序的更改、校正。 | ||
搜索关键词: | 半导体 测试 装置 程序 生成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种测试程序生成方法,生成用以使半导体测试装置运作的测试程序,且所述测试程序生成方法包括如下步骤:启动表格计算软件的步骤,其启动具备多个表格的表格计算软件,该表格是由用以输入测试条件的规定格式所构成,每一测试项目具备有表格;从已通过所述步骤启动的所述表格计算软件的所述多个表格中,选择生成所述测试程序时所必须的表格的步骤;将规定的设定条件输入到已通过所述步骤选择的表格的格式中的步骤;执行所述表格计算软件的宏程序的步骤;以及对应于所述宏程序的执行,生成用以使所述半导体测试装置运作的测试程序的步骤。
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