[发明专利]基片座组件装置有效
| 申请号： | 200710145473.0 | 申请日： | 2007-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101187010A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 理查德·I.·塞顿;拉塞尔·爱德华·巴巴茄;罗夫·埃尔兹;马库斯·K.·提尔斯科 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有从基板上自动锁定和自动解锁基片功能的基片座组件装置，用于镀膜机构，而所述基板包括一个可调卡环座。 | ||
| 搜索关键词： | 基片座 组件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基片座组件装置，所述基片座组件装置用于装配和拆卸某种类型的基片座，此类型的基片座包括带有锁销的基座和带有锁扣的盖，所述盖的锁扣用于与所述基座的锁销啮合，以将所述盖固定在基座上，所述基片座组件装置包括：基片座安装座，用于支撑面朝下的所述基片座；基片座装载支架，用于在装配和拆卸过程中支撑面朝上的所述基片座；可在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间移动的提升臂，用于提起所述基片座，将其翻转，再将所述基片座置于所述基片座装载支架上；以及由所述基片座装载支架伸出的致动装置，用于使所述基片座的基座的锁销脱离锁扣，从而使所述盖与所述基座分离，并将所述基片装载到所述基片座上或从所述基片座上卸下。
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