[发明专利]更换光阻过滤器的系统与方法有效
| 申请号： | 200710147980.8 | 申请日： | 2007-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101271276A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 高耀寰;黄柏昌 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种用以更换光阻过滤器(Resist Filter)的系统与方法，以此种方式来减少过滤器所诱致(Filter－Induced)的晶圆缺陷。在一实施例中，此实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括连接至分配器(Dispenser)的过滤系统，此过滤系统还至少包括有过滤器及连接至过滤器的开关，而此开关是用以选择性地连接过滤系统以输通第一化学溶液与第二化学溶液的其中之一。 | ||
| 搜索关键词： | 更换 过滤器 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于：其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括：一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤系统至少包括一过滤器；以及一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统以输通一第一化学溶液和一第二化学溶液的其中之一。
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