[发明专利]一种将TiO2光催化剂负载于铁磁性金属薄膜的方法

摘要

一种将TiO₂光催化剂负载于铁磁性金属薄膜的方法，首先以空心微珠颗粒材料作基底，以铁磁性金属Ni或Co作溅射靶材，通过磁控溅射将金属Ni或Co均匀包覆于空心微珠表面上；再以该包覆过的空心微珠为基底材料，以金属Ti作为溅射靶材，通过溅射使已经镀有金属薄膜的微珠表面上均匀包覆一层金属Ti；然后在真空室内同时通入氩气和氧气，使Ti在溅射的同时发生氧化生成TiO₂，并沉积于被金属Ni或Co包覆的空心微珠表面。本发明的优点是：通过在空心微珠表面沉积铁磁性金属材料，使以此材料为基底制备的TiO₂光催化薄膜材料能够被磁性收集器吸引，便于使用后的集中回收，重复利用，节约资源，避免对环境的二次污染。

主权项

1. 一种将TiO2光催化剂负载于铁磁性金属薄膜的方法，采用微颗粒磁控溅射镀膜设备制备，其特征在于：首先以空心微珠颗粒材料作基底，以铁磁性金属Ni或Co为溅射靶材，通过向真空室内充入氩气并采用直流、射频或者脉冲溅射，将金属Ni或Co均匀包覆于空心微珠表面上；再以金属Ni或Co包覆过的空心微珠为基底材料，以金属Ti作为溅射靶材，向真空室内通入氩气，采用直流溅射使已经镀有金属薄膜的微珠表面上均匀包覆一层金属Ti；然后打开氧气控制阀，向真空室中通入氧气，在溅射金属Ti的同时使Ti与真空室内的氧气发生反应生成TiO2，并沉积于被铁磁性金属Ni或Co包覆的空心微珠表面。