[发明专利]执行器件、光扫描仪以及图像形成装置有效
申请号: | 200710152846.7 | 申请日: | 2007-09-18 |
公开(公告)号: | CN101149475A | 公开(公告)日: | 2008-03-26 |
发明(设计)人: | 村田昭浩;细见浩昭 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10;B41J2/47 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能实现小型化、而且能进行弹簧常数的微调整的执行器件、光扫描仪以及图像形成装置。本发明的执行器件(1)包括:质量部(21);支撑部(24、25);弹性部(22、23);驱动单元(4);和半导体电路(52),其用于使质量部(21)工作以及/或者检测质量部(21)的动作。通过使驱动单元(4)工作,由此使质量部(21)转动,弹性部(22、23)具有:硅部(221、231),其以硅为主材料而构成;和树脂部(222、232),其与该硅部接合并以树脂材料为主材料而构成。支撑部(24、25)具备硅部(241、251),该硅部与弹性部(22、23)的硅部(221、231)连接并以硅为主材料而构成,半导体电路(52)设置于支撑部(24)的硅部(241)。 | ||
搜索关键词: | 执行 器件 扫描仪 以及 图像 形成 装置 | ||
【主权项】:
1.一种执行器件,包括:质量部;支撑部,其用于支撑所述质量部;连结部,其将所述质量部可转动地连结于所述支撑部;驱动单元,其用于驱动所述质量部转动;和半导体电路,其用于驱动所述质量部;所述连结部具备弹性部,通过使所述驱动单元工作,从而在使所述弹性部扭转变形的同时使所述质量部转动,所述弹性部具有:硅部,其以硅为主材料而构成;和树脂部,其与该硅部接合并以树脂材料为主材料而构成;所述支撑部至少具备硅部,该硅部与所述弹性部的硅部连接并以硅为主材料而构成,所述半导体电路设置于所述支撑部的所述硅部。
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