[发明专利]药液供给装置有效
| 申请号： | 200710154140.4 | 申请日： | 2007-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101183220A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 金银洙;闵天基;朴庸硕 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱梅;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种药液供给装置，包括：喷嘴，其设有用于向基板吐出药液的吐出口；药液供给单元，其可上下移动地设置在喷嘴的上部，并向喷嘴供给药液。而所述药液的吐出量，则通过调整药液供给单元与喷嘴之间的高度差来予以调节。药液供给装置还包括传感器，其用于检测储存药液的液位，并根据液位开启或关闭阀门。所述药液供给单元还包括排出单元，在药液达到一定液位时，其用于将多余的药液排出到外部。另外，药液供给单元安装在喷嘴上部，通过高度差来供给药液，因此无需另设抽吸装置，从而可降低生产成本。而且，由于药液供给单元安装在喷嘴的上部，并向下部供给药液，因此可最大限度地防止泡沫流入到供给至喷嘴的药液中，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种药液供给装置，其特征在于，包括：喷嘴，其形成有用于向基板吐出药液的吐出口；及药液供给单元，其可上下移动地设置在所述喷嘴的上部，并向所述喷嘴供给药液，其中，通过调整所述药液供给单元与所述喷嘴之间的高度差来调节药液吐出量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于显示器生产服务株式会社，未经显示器生产服务株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710154140.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自行车用带自锁快速折叠机构
- 下一篇：摩擦轮式提升机最大载重量差测试装置
