[发明专利]基板清洗装置和使用该装置的基板清洗方法无效
| 申请号： | 200710154297.7 | 申请日： | 2007-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101143362A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 上夷真二 | 申请（专利权）人： | NEC液晶技术株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/04;B08B7/04;B08B3/04;A46B9/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;谷惠敏 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了一种基板清洗设备，其包括通过使滚刷接触基板表面来清洗基板的涂刷清洗单元，以及传送所述基板的传送单元。所述滚刷包括刷毛。滚刷的直径、刷毛硬度和刷毛密度的至少其中之一从滚刷的末端部分到它的中心部分变大。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一个基板清洗设备，包括：涂刷清洗单元，其通过使滚刷接触基板表面来清洗基板，滚刷包括刷毛，并且滚刷直径、刷毛硬度、和刷毛密度的至少其中之一从滚刷的末端部分到它的中心部分变大；以及传送单元；其传送所述基板。
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