[发明专利]修整环型智能超精密抛光机

摘要

一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，主轴与测速机构传动连接，智能控制平台连接驱动电机和测速机构，超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，修整环内安装用于夹装工件的基盘，修整环位于所述抛光盘的上方，修整环保持架安装在机座上，修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙。本发明能够实现在线修整抛光盘的平面精度、获得很高的平面加工精度、加工周期短。

主权项

1.一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、所述抛光盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，所述主轴与测速机构传动连接，所述的智能控制平台连接驱动电机和测速机构，其特征在于：所述的超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，所述的修整环内安装用于夹装工件的基盘，所述的修整环位于所述抛光盘的上方，所述的修整环保持架安装在机座上，所述修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙。