[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，在被处理基板的洗净处理中，防止异物向洗净处理后的基板再附着，有效地进行洗净处理，同时实现提高生产量和低成本化。在使用洗净液进行被处理基板的洗净处理的基板处理装置中，具有：形成有以仰面朝上的姿势搬送被处理基板的搬送路径，通过搬送路径搬送基板的搬送单元；和向搬送的基板的上面供给洗净液的洗净喷嘴，其中搬送路径具有以水平状态搬送基板的水平部、和从所述水平部形成规定角度的向上倾斜的倾斜部，洗净喷嘴配置在倾斜部的上方，洗净液的喷出方向为相对于水平方向向下方倾斜规定角度的方向、并且为搬送路径的上游方向，向在倾斜部上搬送的基板的倾斜面喷出洗净液。

主权项

1.一种基板处理装置，使用洗净液进行被处理基板的洗净处理，其特征在于，具有：形成有以仰面朝上的姿势搬送被处理基板的搬送路径，由所述搬送路径沿规定方向搬送所述被处理基板的搬送单元；和向在所述搬送路径上搬送的所述被处理基板的上面供给洗净液的洗净喷嘴，其中，所述搬送路径具有以水平状态搬送所述被处理基板的水平部、和从所述水平部形成规定角度的向上倾斜的倾斜部，所述洗净喷嘴配置在所述倾斜部的上方，洗净液的喷出方向为相对于水平方向向下方倾斜规定角度的方向、并且为所述搬送路径的上游方向，向在所述倾斜部上搬送的所述基板的倾斜面喷出洗净液。