[发明专利]光源装置无效
| 申请号： | 200710162282.5 | 申请日： | 2007-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101231936A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 松井良太郎 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/52 | 分类号： | H01J61/52;F21V29/02;F21V7/04;F21V15/01;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光源装置，其能够防止光源的过度冷却，并且能够防止异物向反射镜的反射面的附着。光源装置(1)中，从水银氙灯(3)放射出的紫外线，被反射镜(4)的反射面(4a)反射，经由反射镜(4)的出射开口部(4b)、气体喷吹结构(5)的通过开口部(5a)、光圈(8)、以及箱体(2)的出射口(2c)而向外部出射。这时，气体(G)被气体喷吹结构(5)喷吹到反射镜(4)的反射面(4a)上。因此，即使异物和光源装置(1)内的用于风冷的从外部导入的空气(A)一起侵入到光源装置(1)内，也能够防止异物向反射镜(4)的反射面(4a)的附着。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光源装置，其特征在于，包括：放射光的光源；反射镜，将从所述光源放射出的光以反射面反射并从出射开口部出射；气体喷吹结构，具有从所述反射镜出射的光所通过的通过开口部，并向所述反射面喷吹气体。
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