[发明专利]多点电压和电流探针系统有效
| 申请号： | 200710163802.4 | 申请日： | 2007-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101267707A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 雷·切尔瑞;托德·海克尔曼;戴维·J·库莫 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;G01R21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆弋;朱登河 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种多点电压和电流探针系统。计量系统监视在电路中多个位置处的射频(RF)功率。该系统包括：多个RF传感器，其基于所述RF功率的电气特性生成相应的模拟信号；多路复用模块，其基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模块，其基于所述输出信号生成消息。所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的电气特性相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 多点 电压 电流 探针 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于在电路中多个位置处监视射频RF功率的计量系统，包括：多个RF传感器，基于所述RF功率的电气特性，生成相应的模拟信号；多路复用模块，基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模块，基于所述输出信号生成消息，其中所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的所述电气特性有关的信息。
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