[发明专利]多元酚化合物和含有该化合物的化学放大型光刻胶组合物无效
| 申请号： | 200710167318.9 | 申请日： | 2007-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101168509A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 武元一树;安藤信雄;重松淳二 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/74 | 分类号： | C07C69/74;H01L21/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种由式(I)表示的多元酚化合物，其中选自R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个是由式(II)表示的基团，其中X1、X2、X3和X4分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z1表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，环Y表示脂环烃基，并且其它的是氢原子，以及一种含有该化合物的化学放大型光刻胶组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 多元 化合物 含有 化学 大型 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种由式(I)表示的多元酚化合物：![]()
其中，选自R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个是由式(II)表示的基团：![]()
其中，X1、X2、X3和X4分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z1表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，并且环Y表示脂环烃基，并且，其它的是氢原子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710167318.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
