[发明专利]一种增强氧化锌薄膜蓝光发射的方法无效
| 申请号： | 200710177789.8 | 申请日： | 2007-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101442089A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张兴旺;游经碧;范亚明;屈盛;陈诺夫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种增强氧化锌(ZnO)薄膜蓝光发射的方法，涉及半导体技术，该方法制备ZnO/Ag复合结构薄膜，利用Ag表面等离激元与ZnO带间发射间的共振耦合，使ZnO带间辐射复合速率加快；同时借助具有一定粗糙度的Ag薄膜表面将等离激元耦合成光，以达到增强ZnO薄膜蓝光发射的目的。通过ZnO/Ag复合结构薄膜和ZnO薄膜的光致发光性能对比，发现Ag表面等离激元的参与能将ZnO带间蓝光发射的强度提高约50倍，同时有效地抑制了ZnO薄膜中缺陷导致的绿光发射。该方法不仅实现了ZnO蓝光发射增强，而且也能广泛应用于其它半导体发光材料以及其它类型的发光体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 氧化锌 薄膜 发射 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种增强氧化锌薄膜蓝光发射的方法，其特征在于，通过制备ZnO/Ag复合结构薄膜，利用Ag表面等离激元与ZnO带间发射间的共振耦合，使ZnO带间辐射复合速率加快；同时借助具有一定粗糙度的Ag薄膜表面将等离激元耦合成光，以达到增强ZnO薄膜带间的蓝光发射，同时有效地抑制ZnO薄膜中缺陷导致的绿光发射。
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