[发明专利]集成电路结构有效
申请号: | 200710180146.9 | 申请日: | 2007-10-10 |
公开(公告)号: | CN101261979A | 公开(公告)日: | 2008-09-10 |
发明(设计)人: | 陈宪伟;蔡豪益;郑心圃;许仕勋 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种集成电路结构,包括一半导体底材、一介电层、一金属熔丝、一无功能样品图案及一金属线。该介电层成形于该半导体底材上。该金属熔丝成形于该介电层中。该无功能样品图案邻接于该金属熔丝。该金属线成形于该介电层中。该金属熔丝的厚度小于该金属线的厚度。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 结构 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路结构,包括:一半导体底材;一介电层,其成形于该半导体底材上;一金属熔丝,其成形于该介电层中;一无功能样品图案,其邻接于该金属熔丝;以及一金属线,其成形于该介电层中,其中,该金属熔丝的厚度小于该金属线的厚度。
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