[发明专利]图案检查装置

摘要

本发明提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。两个供电电极和两个检查电极呈大致十字状配置于传感器。该传感器沿着产生有交叉短路的交叉线移动。此时，供电电极向交叉线施加交流电压。另外，检查电极与对向的栅极线静电耦合。通过传感器的移动，检查电极移动到与产生交叉短路的栅极线相对向的位置时，在检查电极感应产生较大的交流电压。根据该感应产生的电压值的变化，判定交叉短路的位置。

主权项

1. 一种图案检查装置，可判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路的位置，其特征在于，具备：供电电极，其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案的交流电压的感应；控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化而判定交叉短路的位置。