[发明专利]测试系统无效
| 申请号： | 200710185179.2 | 申请日： | 2007-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101334436A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈士铭;郭伟仁;卢笙丰 | 申请（专利权）人： | 采钰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种测试系统，包括晶圆、转换器以及测试装置。晶圆可产生低电压差动信号。转换器将低电压差动信号转换成处理信号。测试装置接收处理信号，以测试低电压差动信号。本发明使得测试装置能即时测量到低电压差动信号，从而提高晶圆合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，用以测试低电压差动信号，该测试系统包括：晶圆，提供该低电压差动信号；转换器，将该低电压差动信号转换成处理信号；以及测试装置，接收该处理信号，以测试该低电压差动信号是否正常。
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