[发明专利]图案形成装置和图案形成方法

摘要

在图案形成装置中，在从喷嘴部(421)的多个喷出口(422)喷出具有光固化特性的图案形成材料(80)期间，在沿着基板(9)的移动方向上，在先使喷嘴部移动的情况下使喷嘴部和光照射部(43)相对于基板相对且连续移动，并且掩模移动机构(45)使掩模(46)在光照射部和基板之间平行于基板移动。在掩模(46)上二维排列设置了透过率不规则地不同的多个矩形区域，因此在基板上照射区域的照射光的照度分布随时间不规则地变化。由此，可抑制基板上的间隔壁图案的不均匀，该间隔壁图案的不均匀是指：因多个喷出口的不均一性等而在基板上同时形成有宽度不同的间隔壁，从而所产生的图案不均匀。

主权项

1.一种图案形成装置，在基板上形成图案，其特征在于，具有：喷嘴部，其从多个喷出口向基板上喷出具有光固化特性的图案形成材料；光照射部，其向喷出到所述基板上的图案形成材料照射照射光；移动机构，其在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，在沿着所述基板的移动方向上，在先使所述喷嘴部移动的情况下使所述喷嘴部和所述光照射部相对于所述基板而相对且连续地移动，从而在所述基板上形成图案，该图案是指，由在与所述移动方向垂直的方向上以等间距排列的线状的多个图案要素构成的图案；照射光改变部，其在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，针对所述照射光在所述基板和所述图案形成材料上的大致整个照射区域，或者针对在所述照射区域中沿着与所述移动方向垂直的方向排列设置的多个部分区域，不规则地改变所述照射光在所述图案形成材料上的照度、照度分布或在所述移动方向上的照射范围。