[发明专利]将涂层涂敷到衬底的方法

摘要

本发明涉及一种涂敷涂层到衬底上的方法，其中可以有效控制通过喷嘴在衬底上喷射液体介质的涂层表面，有效控制通过液体介质形成的涂层的厚度的形成，以及可以高生产效率地保持涂层的质量控制。本方法发明具有如下操作序列。首先安装距离传感器6a－6c，作为测量形成在衬底1S、1P上的介质层表面LS和喷嘴4之间的距离的装置。将测试衬底1S放置在工作台2上，并且在喷嘴夹持器5相对于工作台向前移动期间通过从喷嘴喷出的液体介质对测试衬底1S进行测试涂层。在喷嘴夹持器相对于工作台向后移动期间通过距离传感器执行测量操作。喷嘴定位器3a－3c根据距离传感器执行的测量操作的结果启动，作为设定形成适当涂层的喷嘴位置的装置。液体介质L被涂至衬底1P。

主权项

1.一种将涂层涂敷到衬底的方法，通过该方法，喷嘴喷射液体介质到位于工作台上的衬底上，所述喷嘴被连接至喷嘴夹持器的喷嘴定位器支撑，所述喷嘴夹持器能够相对于工作台在前后方向上移动，所述方法的特征在于以下操作程序：首先安装距离传感器，所述距离传感器作为测量形成在所述衬底上的介质层表面和所述喷嘴之间的距离的装置；将测试衬底放置在所述工作台上，并且在所述喷嘴夹持器相对于所述工作台向前移动期间通过从所述喷嘴喷出的液体介质对测试衬底进行测试性涂层；在所述喷嘴夹持器相对于所述工作台向后移动期间，通过所述距离传感器执行测量操作；根据所述距离传感器执行的所述测量操作的结果启动喷嘴定位器，所述喷嘴定位器作为设定形成预期涂层的所述喷嘴的位置的装置；以及将液体介质涂敷到衬底上。