[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明提供基板处理装置及方法，能从喷嘴插入孔排除由基板表面周边部位附着到喷嘴插入孔中的处理液的液滴，避免受到液滴的不良影响而对基板表面周边部位进行良好的处理。开口部(521)中位于相对插入喷嘴插入孔(52)的喷嘴(3)的液喷出方向X侧的部位(531)向液喷出方向X侧扩张。移到喷嘴插入孔(52)的液滴(DL)经扩张部位(531)附到相对喷嘴(3)的液喷出方向X侧的内壁面即倾斜部位(532)。倾斜部位(532)从喷嘴插入孔(52)的中央部向扩张部位(531)倾斜并远离基板(W)的表面中央部位侧；故附着的液滴(DL)沿倾斜部位(532)流向液喷出方向X侧，从喷嘴插入孔(52)的开口部(521)排出。

主权项

1.一种基板处理装置，向基板的表面周边部位供给处理液，对该表面周边部位实施给定的表面处理，其特征在于，包括：基板保持装置，其以将基板表面朝上的状态对该基板进行保持；对置部件，其与所述基板保持装置所保持的基板的表面相向并隔开一定距离而配置，而且设置有喷嘴插入孔，该喷嘴插入孔在与所述基板表面相向的基板对置面上具有开口部；喷嘴，其在插入到所述喷嘴插入孔中的状态下沿着从所述喷嘴插入孔朝向所述基板的表面周边部位的液喷出方向喷出所述处理液，将所述处理液供给到所述表面周边部位，在所述喷嘴插入孔中设置有导引机构，该导引机构在所述开口部附近将附着在所述喷嘴插入孔中的所述处理液的液滴向所述液喷出方向一侧引导。