[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 200710200167.2 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101240410A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀装置，其包括一个腔体、一个承载部及至少一个靶体。所述腔体内形成有一个溅镀腔，所述承载部及所述至少一个靶体设于溅镀腔内。所述承载部包括一个转盘及多个穿设于所述转盘的转柱，所述转柱用于悬挂待镀工件，其能够随所述转盘一起转动且能够沿转柱自身中心轴转动。所述溅镀装置可同时对大量工件进行溅镀，具有较高的溅镀效率且所镀膜层具有较佳的膜厚一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种溅镀装置，其包括一个腔体、一个承载部及至少一个靶体，所述腔体内形成有一个溅镀腔，所述承载部及所述至少一个靶体设于溅镀腔内，其特征在于，所述承载部包括一个转盘及多个穿设于所述转盘的转柱，所述转柱用于悬挂待镀工件并随所述转盘一起转动且能够沿转柱自身中心轴转动。
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