[发明专利]一种用于溅镀式镀膜机台的承载台无效
| 申请号： | 200710200684.X | 申请日： | 2007-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101311301A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 林孟东;张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具及一中空的第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部。该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溅镀式 镀膜 机台 承载 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具，该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部；一中空的第二载具，该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710200684.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
