[发明专利]平面度测量装置无效
申请号: | 200710202311.6 | 申请日: | 2007-10-30 |
公开(公告)号: | CN101424507A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | 张秉君;宫连仲 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/30 | 分类号: | G01B5/30;G01B5/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种平面度测量装置,用来测量平板型待测元件的平面度,包括一用来支撑所述待测元件的一边的平台、一垂直安装于所述平台的支架及一用于测量待侧元件的平面度而安装于支架的适当位置处的测量系统,所述测量系统包括一测量部、一带可弹性伸缩的表杆的测量表及一操控所述测量部运动的微调元件,所述测量部的一端抵顶于所述测量表的表杆,测量时,拧紧所述微调元件使其推动所述测量部向所述待测元件方向移动而与待测元件接触,并使抵顶于所述测量部的表杆也向所述待测元件方向弹性伸出,所述测量表根据表杆伸出的长度显示测量部的移动距离,从而方便、快速地得到测量结果。 | ||
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【主权项】:
【权利要求1】一种平面度测量装置,用来测量平板型待测元件的平面度,包括一用来支撑所述待测元件的一边的平台及一垂直安装于所述平台的支架,其特征在于:所述平面度测量装置还包括一用于测量待侧元件的平面度而安装于支架的适当位置处的测量系统,所述测量系统包括一测量部、一带可弹性伸缩的表杆的测量表及一操控所述测量部运动的微调元件,所述测量部的一端抵顶于所述测量表的表杆,测量时,拧紧所述微调元件使其推动所述测量部向所述待测元件方向移动而与待测元件接触,并使抵顶于所述测量部的表杆也向所述待测元件方向弹性伸出,所述测量表根据表杆伸出的长度显示测量部的移动距离,从而测得所述待侧元件的平面度。
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