[发明专利]检查方法、检查装置及存储了程序的计算机可读存储介质无效
| 申请号： | 200710302349.0 | 申请日： | 2007-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101221212A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 熊谷泰德;陶夏 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于使得探针和极板的电导通更加稳定。本发明的检查装置的探针卡中设有：向与晶片(W)接触的两根一组的探针对(10a、10b)间施加电压产生熔结现象使探针和晶片(W)之间电导通的熔结电路(41)；和将探针对(10a、10b)与熔结电路(41)电连接，并将向探针对(10a、10b)施加的电压的极性自由切换的切换电路(43)。向与晶片(W)接触的探针对(10a、10b)施加两次电压执行两次熔结。在该两次熔结中改变向探针对(10a、10b)施加的电压的极性。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 装置 存储 程序 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
1.一种检查方法，将探针与被检查物接触，进行被检查物的电特性的检查，其特征在于，具有：将两根一组的探针对与被检查物接触，向该探针对施加电压产生熔结现象，使探针和被检查物之间电导通的熔结工序，其中，在所述熔结工序中向所述探针对之间施加多次电压，并交替改变向该探针对施加的电压的极性。
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