[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效
申请号: | 200710304424.7 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101245452A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 朱江;武光明 | 申请(专利权)人: | 北京石油化工学院 |
主分类号: | C23C20/00 | 分类号: | C23C20/00 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑立明;孟丽娟 |
地址: | 102617北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备。该设备包括:转筒通过轴承设置在底座上,转动装置设置在转筒外侧,通过传动机构驱动设置在所述底座上的转筒;转筒的上方设有由开口的平台、围壁与上盖构成的反应室,转筒的上端通过所述平台的开口设置在反应室内,上盖上设有喷嘴和抽气孔,所述喷嘴与转筒上固定的衬底相对应,喷嘴通过管路与雾化装置连接;所述抽气孔与抽气装置连接;转筒下面的底座上设有与转筒上固定的衬底对应的加热装置和测温装置,加热装置与测温装置分别与控温装置连接。该设备通过转动装置、转筒、雾化装置及加热装置配合,以甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜。该设备中转动装置设在转筒外侧不会受到加热装置的影响。 | ||
搜索关键词: | 喷雾 分解 薄膜 制备 设备 | ||
【主权项】:
1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:转筒(7)、加热装置(5)、底座(6)、传动机构、测温装置(17)、喷嘴(2)、雾化装置(15)、转动装置(10)、抽气装置(16)、上盖(18)、围壁(14)和平台(4)构成;转筒(7)通过轴承(8)设置在底座(6)上,转动装置(10)设置在转筒(7)外侧,通过传动机构驱动设置在所述底座(6)上的转筒(7);转筒(7)的上方设有由开口的平台(4)、围壁(14)与上盖(18)构成的反应室,转筒(7)的上端通过所述平台(4)的开口设置在反应室内,上盖(18)上设有喷嘴(2)和抽气孔,所述喷嘴(2)与转筒(7)上固定的衬底(3)相对应,喷嘴(2)通过管路与雾化装置(15)连接;所述抽气孔与抽气装置(16)连接;转筒(7)下面的底座(6)上设有与转筒(7)上固定的衬底(3)对应的加热装置(5)和测温装置(17),加热装置(5)与测温装置(17)分别与控温装置(9)连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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