[实用新型]一种原料供给装置有效
| 申请号： | 200720070765.8 | 申请日： | 2007-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201049440Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其中，该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。所述的两条管路均分别设有调节钮，用于调节对应管路的原料流量。所述数字流量器连接一个显示屏，显示屏可以设置在原料供给装置外部，用于显示数字流量器测量的原料流量。本实用新型通过数字计量器可精确测量原料流量且显示在显示屏上。操作员可以精确获知化学品和去离子水的流量，精确调控流量，不仅能彻底清洗晶片表面，还能最大程度减少原料的用量，有效节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原料 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其特征在于：该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720070765.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电路板热插拔接口
- 下一篇：具有多路固态燃料入口的燃烧器
