[实用新型]样品台有效
| 申请号： | 200720071239.3 | 申请日： | 2007-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN201060150Y | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈强;黄勤;白莉莉;秦天;关业群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N33/48;G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种样品台，包括上底座和下底座，其中下底座包括，配置在下底座上平面上的至少一个弹性活动组以及配置在下底座上平面上的至少一个离胶顶片，其中每一个弹性活动组至少包括一个弹性部件，而离胶顶片的高度至少高于弹性部件处于受压状态时的高度，并且低于弹性部件处于自然状态时的高度；其中上底座用于承载样品，受弹性活动组的支撑，并且具有至少一个与离胶顶片配套的开口，所述开口的位置与离胶顶片对应，且当上底座向下底座下压时使得离胶顶片从开口处伸出。本实用新型样品台在取芯片时可以避免损坏样品，并且结构简单，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 | ||
【主权项】：
1.一种样品台，其特征在于，包括上底座和下底座，其中下底座包括，配置在下底座上平面上的至少一个弹性活动组以及配置在下底座上平面上的至少一个离胶顶片，其中每一个弹性活动组至少包括一个弹性部件，而离胶顶片的高度至少高于弹性部件处于受压状态时的高度，并且低于弹性部件处于自然状态时的高度；其中上底座用于承载样品，受弹性活动组的支撑，并且具有至少一个与离胶顶片配套的开口，所述开口的位置与离胶顶片对应，且当上底座向下底座下压时使得离胶顶片从开口处伸出。
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