[实用新型]化学机械研磨机台排放管有效
| 申请号： | 200720073532.3 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN201105409Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 任国伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/00;B24B57/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学机械研磨机台排放管，包含主排放管、排液管及排气管；所述主排放管包含具有排放通路的内筒和连接于内筒且与内筒间具有空隙的外筒，所述空隙与所述排放通路连通；所述排液管及排气管分别连接于所述外筒。可减少所述排放管中包含的所述排气管内沉积物的产生，进而可减少所述排气管内腐蚀区的形成，并延长所述排气管的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 排放 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨机台排放管，包含主排放管、排液管及排气管；其特征在于：所述主排放管包含具有排放通路的内筒和连接于内筒且与内筒间具有空隙的外筒，所述空隙与所述排放通路连通；所述排液管及排气管分别连接于所述外筒。
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