[实用新型]斐索干涉仪检测工作台无效
| 申请号： | 200720079907.7 | 申请日： | 2007-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN201053919Y | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨李茗;李瑞洁;石琦凯;刘夏来;张宁;于杰;巨光;段敏 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04 |
| 代理公司： | 成都市辅君专利代理有限公司 | 代理人： | 夏杰军;杨海燕 |
| 地址： | 610041四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种斐索干涉仪检测工作台，旨在提供一种检测平面光学元件面形配套设备。它包括承载台、工件支架和检测底座，承载台上设有导轨，工件支架的底部设有滑动滚珠。本实用新型使工件的恒温等待过程和检测过程分离，实现了工件的连续检测，大大提高了检测效率，较原始的检测效率提高了4－5倍，提高了光学元件的生产效率。本实用新型适合大口径斐索干涉仪检测大型平面光学元件面形时使用。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 检测 工作台 | ||
【主权项】：
1.一种斐索干涉仪检测工作台，包括承载台(1)、工件支架(2)和检测底座(3)，其特征在于，承载台(1)上设有导轨(1-2)，工件支架(2)的底部设有滑动滚珠(2-7)，检测底座(3)的一端设有插槽(3-1)，承载台(1)与检测底座(3)连接处设有插头(1-5)。
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