[实用新型]坩埚传动装置有效
| 申请号： | 200720080859.3 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201102981Y | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张博;谢亮;刘伟锋;付成洪;薛尚清 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/448;F16J15/16;F16J15/43 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人： | 江晓萍 |
| 地址： | 610100四川省成都市经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种将动力传递到真空镀膜室中的坩埚上的坩埚传动装置，包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。本实用新型中动密封、磁流体密封可互换，质量稳定，以满足真空镀膜生产需求，拆卸、维修、使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 传动 装置 | ||
【主权项】：
1、坩埚传动装置，其特征在于包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。
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