[实用新型]载盘的改良结构

摘要

本实用新型涉及一种适用于晶圆制程，具有操作维修简易、低成本以及晶圆高效率冷却的载盘的改良结构。此载盘包括一上盖、一下盖、一冷却流道、以及多个流道出口。上盖具有一内凹区与一螺旋状凸肋组，此螺旋状凸肋组设置于内凹区中。下盖具有一顶面与一侧面，此顶面连接于螺旋状凸肋组的多个凸肋顶部，而侧面连接于内凹区的一侧壁。冷却流道设置于内凹区、螺旋状凸肋组、与顶面所围成的封闭空间中。多个流道出入口，连接于冷却流道，而其中一冷却流体经由多个流道出入口进出冷却流道以形成一连续冷却流。

主权项

1.一种载盘的改良结构，其特征在于，包括：一上盖，具有一内凹区与一螺旋状凸肋组，该螺旋状凸肋组设置于该内凹区中；一下盖，具有一顶面与一侧面，该顶面连接于该螺旋状凸肋组的多个凸肋顶部，而该侧面连接于该内凹区的一侧壁；一冷却流道，设置于该内凹区、该螺旋状凸肋组、与该顶面所围成的封闭空间中；以及多个流道出入口，连接于该冷却流道，而其中一冷却流体经由所述的流道出入口进出该冷却流道，以形成一连续冷却流。