[实用新型]基片托盘的抬料装置

摘要

一种基片托盘的抬料装置，在基片托盘四周垂设多个链条，能进行纵向及横向往复位移，且链条的链目上设一沟部，以植入一杆件的一凸柱，该杆件设于一托件的一容置孔内，凸柱裸露于一与容置孔相通的行程孔外，各链条旁侧各自滑设一第三驱动器，具一能挺伸及复归的推杆，于挺伸时推触杆件带动凸柱位移至脱离沟部且植入容置孔内，以连接托件于第三驱动器上，同时第三驱动器能进行纵向往复位移；据此，各链条带动各托件移至托盘下方，并上移抬举托盘，各第三驱动器逐一驱动相等高度的各托件脱离链条，并移载托盘至可供基片移出的高度。

主权项

1.一种基片托盘的抬料装置，其特征在于，包含：多个链条，垂设于载放有基片的托盘四周，至少二链条组成一组链条，各组链条各自接受至少一第一驱动器驱动而进行纵向往复位移，且各组链条各自接受至少一第二驱动器驱动而进行横向往复位移，同时链条的多个链目上各自设一横向沟部；多个托件，各自具有一用以托持托盘端边的承部，且托件上设有相通的一横向容置孔及一行程孔，容置孔内穿设一杆件，杆件上设有一用以植入链目沟部内的裸露于行程孔外的凸柱；及多个第三驱动器，各自滑设于各链条旁侧，而邻近各杆件裸露于容置孔的一尾端，且第三驱动器具有一能横向挺伸及复归的推杆，推杆与托件的容置孔匹配，各第三驱动器各自接受一第四驱动器驱动而进行纵向往复位移。