[实用新型]一种ITO薄膜激光蚀刻机有效
| 申请号： | 200720171149.1 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN201143596Y | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 高云峰;陈夏弟;倪鹏玉;程文胜;李世印 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/02 | 分类号： | B23K26/02;B23K26/08;B23K26/42;B23K26/14;B23K26/38;B23K26/40;H01L21/302 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，所述吸附盘固定在X轴运动系统上，位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。本实用新型对ITO薄膜的刻线效率高、线性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 薄膜 激光 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种ITO薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，其特征在于：所述吸附盘固定在X轴运动系统上，位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。
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