[实用新型]基板贴合装置有效
申请号: | 200720193749.8 | 申请日: | 2007-11-08 |
公开(公告)号: | CN201161468Y | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 李裕文 | 申请(专利权)人: | 宸鸿光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 台湾省台北市大*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种基板贴合装置,包括一贴合治具,其由一对相对应侧壁形成一凹部空间,并在凹部空间的顶面形成一开放顶面,凹部空间连通有一抽气通道;一可挠性基板承托结构,形成在贴合治具的凹部空间中,用以承托一可挠性基板的两端缘,并使可挠性基板的底面与一标的基板的贴合面间具有一预定间距;一软性板,盖覆在贴合治具的开放顶面,以在软性板与贴合治具的凹部空间之间形成一气密贴合舱室。当气密贴合舱室由一真空抽气装置经由抽气通道予以抽真空时,软性板受真空压力作用变形下凹,而将可挠性基板下压,使可挠性基板的底面贴合于标的基板的贴合面。 | ||
搜索关键词: | 贴合 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基板贴合装置,将一可挠性基板贴合在一标的基板的贴合面,其特征在于,该装置包括:一贴合治具,由一对相对应的侧壁形成一凹部空间,并在该凹部空间的顶面形成一开放顶面,该凹部空间连通有一抽气通道;一可挠性基板承托结构,形成在该贴合治具的凹部空间中,承托该可挠性基板的两端缘,并使该可挠性基板的底面与该标的基板的贴合面之间具有一预定间距;一软性板,盖覆在该贴合治具的开放顶面,在该软性板与贴合治具的凹部空间之间形成一气密贴合舱室。
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