[实用新型]自动显定影机无效
| 申请号： | 200720195356.0 | 申请日： | 2007-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN201130296Y | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 钟盛钦 | 申请（专利权）人： | 长禔工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/30;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种自动显定影机，其机台上有前、后料篮及一废料槽；转载装置至少包括一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂；定位装置至少包括一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘；加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头；回风装置设置在加工区下方连接抽气马达，至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管，废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。可提高晶圆的产制良好率及产制速度，并降低显定影剂对操作人员的接触机会。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 定影 | ||
【主权项】：
1. 一种自动显定影机，其特征在于机台上设置一组转载装置、一组定位装置、至少一加工区、以及一回风装置，其中：机台上包括有前、后料篮及一废料槽；转载装置至少包括有一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂；定位装置至少包括有一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘；加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头；回风装置设置在加工区下方连接抽气马达，至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管，废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。
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