[实用新型]上下片机构

摘要

一种自动上下片机构，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构，机械臂组件机构中的机械臂从送片机构上方的花篮中取出晶圆片送到预对位机构进行预对位，然后机械臂组件机构旋转90°把晶圆片送到测试装置的承片台上进行相关测试；待测试完成后，机械臂再把晶圆片从测试装置的承片台上卸下来，送回花篮，同时送上另外一片已经预对位好的晶圆片，如此反复直至完成整个测试。由于本实用新型采用了两个机械臂，使得整个上下片过程变得快速、流畅，从而节省了换片时间，提高了整机的测试效率。

主权项

1、一种上下片机构，其特征在于，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构；送片机构包括堆放装置和连接在其下方的使其升降的升降组件；预对位机构包括预对位台和连接在其下方控制其上下运动的预对位装置；机械臂组件机构包括上机械臂、下机械臂和机械臂驱动装置，机械臂驱动装置使上机械臂和下机械臂来回水平直线运动；上机械臂与下机械臂纵向并列布置；上机械臂和下机械臂的中轴线位于同一垂直平面内；机械臂组件机构与一转动装置相连，转动装置可使机械臂组件机构水平转动。