[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置无效
申请号: | 200780001718.0 | 申请日: | 2007-01-10 |
公开(公告)号: | CN101360989A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 小林孝正;尔见正树;三笠康之 | 申请(专利权)人: | 日本电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896;G02B5/30;G01M11/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供无需将新的部件插入到光程中就可以进行已将构成层叠薄膜的相位差层的光学性能偏差考虑进去的缺陷检测的层叠薄膜的缺陷检测装置。是层叠有偏振片(1)和相位差层(隔离件(2))的层叠薄膜(11)的缺陷检测方法,具有:配置在层叠薄膜(11)的薄膜面的一侧的光源(12)、配置在薄膜面的另一侧的摄像部(13)、在光源(12)和摄像部(13)之间配置的检查用偏光滤光器(15)、根据拍摄的图像对存在于偏振片(1)的缺陷进行检测的缺陷检测部(14b)、和对偏光滤光器(15)的偏光轴(L2)和偏振镜(2)的偏光轴(L1)的相对角度位置进行调节的光轴调节部(16);就偏光滤光器(15)的相对角度位置而言,是在0°<x≤15°的范围内调节偏光滤光器的相对角度位置x,使得输入到摄像部的可见光的光量成为最小值。 | ||
搜索关键词: | 层叠 薄膜 制造 方法 缺陷 检测 装置 以及 图像 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种层叠薄膜的制造方法,包括:至少层叠偏振片和相位差层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠薄膜进行缺陷检查的工序,其特征在于,所述缺陷检查工序包括:通过配置在层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜照射光的工序、通过配置在所述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的工序、根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜的缺陷进行检测的缺陷检测工序、和对在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行调节的工序,所述偏光滤光器的相对角度位置调节是在0°<x≤15°的范围内调节偏光滤光器的相对角度位置x,以使输入到摄像部的可见光的光量成为最小值。
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