[发明专利]反射型TFT基板及反射型TFT基板的制造方法无效

专利信息
申请号: 200780005049.4 申请日: 2007-01-16
公开(公告)号: CN101379539A 公开(公告)日: 2009-03-04
发明(设计)人: 井上一吉;矢野公规;田中信夫 申请(专利权)人: 出光兴产株式会社
主分类号: G09F9/30 分类号: G09F9/30;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种反射型TFT基板。反射型TFT基板(1)具备:基板(10);栅电极(23)及栅配线(24);栅绝缘膜(30);n型氧化物半导体层(40);由通道部(41)分隔形成的金属层(60);像素电极(67);以使漏配线焊盘(68)及栅配线焊盘(25)露出的状态将玻璃基板(10)的上方覆盖的保护用绝缘膜(80)。所述金属层(60)作为漏配线(66)、源电极(63)、漏电极(64)及像素电极(67)发挥作用。
搜索关键词: 反射 tft 制造 方法
【主权项】:
1.一种反射型TFT基板,其特征在于,具有:基板;形成于所述基板的上方的栅电极及栅配线;形成于所述基板、所述栅电极及所述栅配线的上方的栅绝缘膜;形成于所述栅电极的上方的、所述栅绝缘膜的上方的氧化物层;在所述氧化物层的上方由通道部隔而形成的金属层;与源·漏电极电连接的像素电极,所述金属层至少作为所述像素电极及与所述像素电极连接的所述源·漏电极发挥作用。
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