[发明专利]光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法

摘要

本发明提供光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法。在侧管(15)的一侧端部气密地接合受光面板(13)、在另一侧端部经由管状部件(31)气密地接合芯柱(29)而构成的真空容器内，配置光电面(14)、聚焦电极(17)、倍增极(Dy1～Dy12)、引出电极(19)以及阳极(25)。倍增极(Dy1～Dy12)和阳极(25)具有相互对应的多个通道。各电极具有在层叠方向上重叠的缺口，并将支承脚(21)和引线脚(47)配置在缺口内。在单位阳极之间具有配置有桥的凹部(28)，将阳极板配置在芯柱脚(27)上之后将桥切断。由于充分确保了各电极以及阳极(25)的有效面积，因此能够有效地检测电子。

主权项

1、一种光电倍增管(10)，所述光电倍增管(10)在具有构成一侧端部的受光面板(13)和构成另一侧端部的芯柱(29)的真空容器内，具备：光电面(14)，其将通过所述受光面板(13)入射的入射光转换为电子；电子倍增部，其使所述光电面(14)发射出的电子倍增；以及电子检测部，其根据所述电子倍增部倍增后的电子送出输出信号，其特征在于，所述电子倍增部具有：电极层叠部，其由多个倍增电极(Dy1～Dy12)层叠多层而成；电位供给单元(47)，其对所述各倍增电极(Dy1～Dy12)分别提供预定的电位；以及聚焦电极(17)，其使所述光电面(14)发射出的电子集束到所述电极层叠部，在所述倍增电极(Dy1～Dy12)和所述阳极(25)的边缘部形成有缺口(24)，由所述缺口(24)形成的平面在所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)上重叠，所述电位供给单元(47)从所述芯柱(29)沿所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)延伸并贯穿由所述缺口(24)形成的平面，所述聚焦电极(17)配置在所述电极层叠部和所述光电面(14)之间，在所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)上覆盖所述缺口(24)和所述倍增电极(Dy1～Dy12)。