[发明专利]负型感光性含氟芳香族类树脂组合物

摘要

本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以上述式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×10³～5×10⁵；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf¹和Rf²分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。

主权项

1.负型感光性含氟芳香族类树脂组合物，其中，包含下述含氟芳香族预聚物、至少1种感光剂和至少1种溶剂，所述含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以下述式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×10³～5×10⁵的含氟芳香族预聚物；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf¹和Rf²分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。