[发明专利]光电变换装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种光电变换装置的制造方法，该方法在不会使光电面的特性劣化的情况下，气密性地接合形成容纳上述光电面的外围器的两个部材。在具有光电面(7)的上侧框架(2)的接合部上，依次层叠铬金属膜(11a)和镍金属膜(12b)。下侧框架(5)由具备电子倍增管(8)和阳极(9)的平板状部材(4)以及硅制框部材(3)构成。在上述框部材的接合部上，依次层叠铬金属膜(10a)和镍金属膜(10b)。上述上侧框架和上述下侧框架夹持着含铟的接合材料(12)而重合。在减压至规定的真空度并被保持在铟的熔点以下的温度的真空空间内，在规定的压力下互相押接上述上侧框架和上述下侧框架，形成具有维持充分的气密性的容纳空间的外围器。

主权项

1.一种光电变换装置的制造方法，其特征在于：所述光电变换装置具备外围器，所述外围器是通过接合第一框架和第二框架而构成的，该第一框架包括平板状部材和以围绕该平板状部材的主面中心的形式配设于该主面上的同时从该主面向垂直方向上延伸的侧壁，该第二框架包括平板状部材，在所述外围器的至少一部分上具有光入射窗，并且，在由所述第一框架的平板状部材主面、所述第一框架的侧壁以及所述第二框架的平板状部材主面所规定的内部空间内，容纳有光电面和阳极，该光电变换装置的制造方法具备如下第一步骤、第二步骤、第三步骤和第四步骤：所述第一步骤是在应该面对于所述第二框架的平板状部材主面的、所述第一框架的侧壁端面上形成第一金属膜的步骤，该第一金属膜包含选自如下金属膜的任意一种：从该侧壁端面进一步在垂直方向上按铬、镍的顺序层叠的金属膜；从该侧壁端面进一步在垂直方向上按铬、钛的顺序层叠的金属膜；以及，由钛构成的金属膜，所述第二步骤是在应该面对于所述第一框架的侧壁端面的、所述第二框架的平板状部材表面上的接合部位，直接或者间接地形成第二金属膜的步骤，所述第二金属膜包含选自如下金属膜的任意一种：从该平板状部材表面在垂直方向上按铬、镍的顺序层叠的金属膜；从该平板状部材表面在垂直方向上按铬、钛的顺序层叠的金属膜；以及，由钛构成的金属膜，所述第三步骤是将所述光电面以及所述阳极配置于所述外围器的内部空间内的步骤，在该第三步骤中，分别将该光电面以及阳极形成于所述第一框架的平板状部材的主面上以及所述第二框架的平板状部材主面上的至少任意一个主面上，在所述第四步骤中，将所述第一以及第二框架导入到减压至指定的真空度的、温度处于铟的熔点以下的真空空间内，在将含有铟的接合材料夹持于所述第一金属膜和所述第二金属膜之间的状态下，使所述第一框架上的侧壁端面和所述第二框架的接合部位相面对，所述第五步骤是在所述真空空间内接合所述第一框架和所述第二框架的步骤，在该第五步骤中，在夹持所述接合材料的状态下，以指定的压力使所述第一框架和所述第二框架紧密附着。