[发明专利]显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法无效

专利信息
申请号: 200780011154.9 申请日: 2007-02-02
公开(公告)号: CN101410759A 公开(公告)日: 2009-04-15
发明(设计)人: 中川英俊 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02F1/1335;G02F1/1368;G09F9/00;G09F9/30
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 代理人: 龙 淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法,能够识别通过分割曝光形成的各要素的分割曝光区域的边界位置,能够容易地进行工序管理和评价。显示面板用的基板(11)上,设有:通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成、并且上述分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案;和表示该分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案中的至少一个薄膜图案的分割曝光区域的边界位置的标记(3a)。
搜索关键词: 显示 面板 包括 制造 方法
【主权项】:
1.一种显示面板用的基板,其特征在于,包括:通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成的薄膜图案;和表示所述分割曝光区域的边界位置的标记。
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