[发明专利]弹性表面波装置

摘要

提供一种利用瑞利波、难以生成基于SH波的乱真、电极电阻小、能够容易对应高频化的弹性表面波装置。弹性表面波装置具备欧拉角为(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的LiNbO₃基板；电极，形成于所述LiNbO₃基板(2)上，包括以Cu为主体的IDT电极(3)；第1氧化硅膜(6)，形成为在除了形成所述电极的区域之外的剩余区域中，厚度与所述电极相等；和第2氧化硅膜(7)，形成为覆盖所述电极(3)和第1氧化硅膜(6)，利用瑞利波，其中，当表面波的波长为λ时，所述电极(3)的膜厚为0.12λ～0.18λ的范围，所述欧拉角(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的θ为满足下式(1)的范围，[式1]θ＝32.01-351.92×exp(-T_CU/0.0187)…式(1)。其中，T_CU：以波长λ对Cu电极膜厚归一化后的值。

主权项

1、一种弹性表面波装置，利用瑞利波，具备：欧拉角为(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的LiNbO3基板；电极，形成于所述LiNbO3基板上，包括以Cu为主体的IDT电极；第1氧化硅膜，在除了形成所述电极的区域以外的剩余区域中，形成为厚度与所述电极相等；和第2氧化硅膜，形成为覆盖所述电极和第1氧化硅膜；当表面波的波长为λ时，所述电极的膜厚为0.12λ～0.18λ的范围，所述欧拉角(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的θ为满足下式(1)的范围，[式1]θ＝32. 01—351.92×exp(—TCU/0.0187)…式(1)其中，TCU：以波长λ对Cu电极膜厚归一化后的值。