[发明专利]感光性树脂层压体有效
| 申请号： | 200780015494.9 | 申请日： | 2007-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101432661A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 五十岚勉 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料元件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂层压体，其具有如下特性：表现高分辨率和高附着力、抗蚀图案的侧壁无不稳、抗蚀图案的表面无凹陷、且显影后的折边极小，其中，该感光性树脂层压体在支撑薄膜剥离性上没有问题。使用一种感光性树脂层压体，其特征在于，该感光性树脂层压体在支撑薄膜上依次层压层厚为0.1μm以上10μm以下的中间层和感光性树脂层而成，其中，该中间层含有聚乙烯醇和特定的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层压 | ||
【主权项】：
1. 一种感光性树脂层压体，其特征在于，该感光性树脂层压体按顺序含有支撑薄膜、以及该支撑薄膜上的层厚为0.1μm以上10μm以下的中间层、和感光性树脂层而成，其中，该中间层含有聚乙烯醇和选自下述通式(I)所示的化合物所组成的组中的1种以上化合物。R1-O-(CH2CH2O)n1-R2 (I)(R1和R2为H或CH3，这些可以相同、也可以不同，n1为3～25的整数。)
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