[发明专利]微机电系统（MEMS）可变电容器、激励部件及相关方法有效
| 申请号： | 200780016273.3 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101438366A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | A·S·莫里斯;J·Q·黄 | 申请（专利权）人： | 维斯普瑞公司 |
| 主分类号： | H01H51/22 | 分类号： | H01H51/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈松涛 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了微机电系统(MEMS)可变电容器、激励部件及相关方法。MEMS可变电容器可以包括基本彼此平行延伸的第一馈电线和第二馈电线。此外，MEMS可变电容器可以包括与第一馈电线和第二馈电线间隔开的第一电容板和第二电容板。第一电容板和第二电容板可以分别相对于第一馈电线和第二馈电线中的至少一个单独移动，以在预定电容范围内改变第一馈电线和第二馈电线之间的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 可变电容器 激励 部件 相关 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微机电系统(MEMS)激励部件，包括：间隔开的第一激励电极和第二激励电极，其中至少一个所述激励电极可以相对于另一个激励电极移动；以及附着于所述至少一个激励电极的可移动部件，所述可移动部件包括可动端和固定端，其中在所述第一激励电极和第二激励电极之间施加电压时，所述可动端可移动，并且其中所述固定端包括至少两个弹性臂，用于在施加所述电压时对所述可动端的运动提供阻力。
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